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超精密氣浮臺知識點介紹
閱讀:270 發(fā)布時間:2022-10-27超精密氣浮臺是基于靜態(tài)氣動軸承,其安裝在滾珠面板基底:頂部與面板連接,由承轉(zhuǎn)子組成。在球和板之間有氣隙。定子與臺座外殼對應(yīng)的負(fù)形連接。定子采用內(nèi)節(jié)流原理安裝,氣動分布通道系統(tǒng)與噴嘴組合。轉(zhuǎn)子定子與轉(zhuǎn)子在定壓和負(fù)載下沒有接觸。可用于圓度測量系統(tǒng)、中心偏差測量系統(tǒng)和粗糙度測量系統(tǒng)。
超精密氣浮臺基本特性
超精密氣浮臺載重能力強(qiáng),重復(fù)精度高;無限的使用壽命;無塵室應(yīng)用環(huán)境;不滑行動作;不磨損,不調(diào)整。
技術(shù)指標(biāo):
轉(zhuǎn)動精確度(徑向和軸向跳動)。玻璃纖維編碼器:相對定位精度。有兩個版本的空氣軸承轉(zhuǎn)盤:轉(zhuǎn)盤,有角編碼器,連轉(zhuǎn)盤旋轉(zhuǎn)均勻,無角度位置控制。
可以根據(jù)應(yīng)用程序使用其他驅(qū)動器:
帶子傳動采用DC高精度齒輪裝置,高精度定位,轉(zhuǎn)速每分鐘可達(dá)3轉(zhuǎn);DC驅(qū)動,DC驅(qū)動采用DC無刷力矩電機(jī),轉(zhuǎn)速在0.2-200rpm之間;全部轉(zhuǎn)盤都是水平或垂直的。該設(shè)備配置精密地支撐板和帶有螺紋孔的螺紋孔來夾住螺母或T型槽(可供選擇)。
選擇:
平傾調(diào)節(jié)裝置;吸附器;電子旋轉(zhuǎn)控制裝置;
高分辨角編碼器;
巖石基礎(chǔ),帶有減震元件,
氣體過濾器系統(tǒng)
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