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解決問題 超聲波傳感器助力監測半導體純水儲存罐液位

2021-11-03 08:43:54 來源：儀表網 閱讀量：6301

　　伴隨著芯片的集成度越來越高，半導體制造的先進程度也逐漸提升。在芯片半導體的生產加工過程中要不斷用水清洗，對水質的純度要求特別高，要求達到ppb級別，所以為了保證生產出超大規模的集成電路，除高純原材料、高純氣體、高純化學藥品外，超純水也是其中非常關鍵的因素之一。
 
　　半導體包括芯片，存儲器等產品在生產過程中需要經歷上百道清洗程序，而為保證半導體精度，其工藝技術中要求用到純水清洗，清洗所需的超純水必須達到電子級，為了避免其中混入雜質，而影響半導體產品功能，進而影響半導體產品的性能及壽命。
 
　　超聲波傳感器恰恰解決了這個問題，超聲波傳感器能夠實現非接觸測量，不僅做到非接觸測量，減少二次污染，還有超聲波傳感器特有的自適應功能及濾波功能，達到精準的液位檢測。
 
　　因此對工業清洗半導體的純水主要儲存在其內部的儲水罐中對于其液位的控制非常重要，要求純水的液位高度保持恒定。而且是透明的特殊這一特性，其它的傳感器也很難做到如此有效精確檢測。
 
　　半導體生產線儲水罐里面的原料是純水，透明且不帶導電性，要求無污染，還要求傳感器要做到精確檢測；除此之外存放純水的儲水罐是個封閉的容器，有些儲水罐里面帶有攪拌機構以及進水泵和出水泵，導致其液位或者料位在攪拌的過程中會波動，這也為準確測量液位或料位帶來困難。
 
　　利用超聲波傳感器實時監控液位的高度，以此來保持儲水罐的水位高度恒定，從而跟進純水的特性。
 
　　關于超聲波傳感器
 
　　超聲波傳感器是將超聲波信號轉換成其他能量信號(通常是電信號)的傳感器。超聲波是振動頻率高于20kHz的機械波。它具有頻率高、波長短、繞射現象小，特別是方向性好、能夠成為射線而定向傳播等特點。超聲波對液體、固體的穿透本領很大，尤其是在陽光不透明的固體中。超聲波碰到雜質或分界面會產生顯著反射形成反射回波，碰到活動物體能產生多普勒效應。
 

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