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三軸超精密氣浮運動臺實現在XYZ方向上超精密定位。

產品特點

• 可選碳化硅陶瓷氣浮導軌，超性能精度；

• 平面式氣浮，避免阿貝誤差影響；

• 重復定位精度±75nm，定位精度±0.15μm；

• 速度1m/s，快速的整定時間；

• 可選光柵或激光尺位置反饋；

• 龍門式雙驅結構，承載能力強；

• 優化后的線纜管理系統。

產品圖片

應用領域

隨著半導體行業的不斷發展，三軸超精密氣浮運動臺相應的加工檢測設備的性能必須提高，我司在運動控制上有著豐富的定位經驗，推出了一款平面式H形氣浮運動臺。QFHDS采用有限元分析優化的碳化硅陶瓷結構和氣浮軸承補償設計技術，提高精度的同時，也提供高動態性能。廣泛應用于半導體加工、檢測，微納加工、納米級飛切拋光加工及高速掃描等行業。

產品優勢

采用*的碳化硅陶瓷設計，比鋁合金氣浮導軌性能約高5倍，熱膨脹系數約低5倍。用此材料及結構提升了動態跟蹤誤差，高速響應頻率及位置穩定性，速度達到1m/s,加速度可達4g.利用多年的氣浮軸承制造經驗，開發一種新的氣浮軸承補償方法，提高了剛性和負載能力，以滿足高動態響應的要求，可實現快速運動和非常快的位置整定。

根據應用，QFHDS可用于主動或被動隔振系統，可安裝旋轉臺，傾角臺或晶圓裝卸用的夾具等，整套設備可以提供焊接件底座，花崗巖基座或主動被動隔振臺等。我們精心優化管線彎曲半徑，防止動作過程中線纜的拉伸影響到氣浮臺的性能，使用高質量的電纜，以確保*操作，減少停機時間。同時使設備外觀更整潔，創造良好的作業環境.

規格參數