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詳細介紹
王欣悅 依巴依-似伍陸陸-捌柒零貳
產品型號
QFR-NOTE系列
產品特點
閉式氣浮軸承結構；
直驅零齒槽效應；
高軸向和徑向剛度；
百納米跳動誤差；
低噪音結構設計；
高速度穩定性
產品圖片
行業應用
精密氣浮轉臺滿足生物檢測、晶圓檢測、高精度計量、X射線衍射系統、光學檢測和制造以及MEMS/納米技術設備制造等行業，在極低的外形封裝中提供高定位精度、高速度穩定性和納米級跳動。
產品性能
精密氣浮轉臺進行優化設計，使工作臺面降到低，這種設計結構有效的降低了工作點的高度，大減少因與其他軸疊層引起的阿貝誤差。密封式結構具有高剛度和大負載承重，不僅有較低的軸向和徑向端跳誤差，而且傾角誤差也比較小，由此產生的面誤差明顯優于其它轉臺或氣浮主軸，實現超精密轉臺的應用。
采用無齒槽無刷電機和氣浮軸承，大限度的提高了定位性能。電機采用磁路設計，以小的熱量產生高扭矩輸出，無齒槽設計固有的零齒槽效應和扭矩波紋折射，非常適合在低速或高速下平滑快速旋轉等應用。
采用精密圓光柵反饋，控制器對光柵柵距細分，分辨率達0.01角秒，軸向跳動誤差100nm。結構可定制。
規格指標
型號 | 單位 | QFR-NOTE100 | QFR- NOTE200 | QFR- NOTE300 | |
行程 | degree | 360 | |||
臺面直徑 | mm | 66 | 148 | 248 | |
定位精度 | Plus值 | arc sec | ±1 | ||
標準值 | ±3 | ||||
雙向重復定位精度 | Plus值 | arc sec | ≤1 | ||
標準值 | ≤1.5 | ||||
軸向跳動誤差 | Plus值 | nm | 100 | ||
標準值 | 250 | ||||
徑向跳動誤差 | Plus值 | nm | 100 | ||
標準值 | 300 | ||||
電子分辨率 | arc sec | 0.01 | |||
速度（空載） | rpm | 300 | |||
負載 | Kg | 20 | 40 | 70 | |
供氣壓力 | MPa | 0.5±0.05 | |||
售后服務
質保期為驗收合格后12個月。
我公司在2小時內響應維護服務，24小時內到達現場維護，為更好的做產品售后服務工作，及時接收用戶反饋的問題。
免費的電話咨詢和服務；
反饋時間不超過2小時；
如果需要到現場服務，質保期外的我公司只收取人員的差旅費（北京市內除外）質保期外的，硬件如果需要更換或修理，只收取硬件的成本；
設備正常運行驗收后，我公司指派專業工程師負責在現場為貴單位提供不受人員限制的產品設備培訓，培訓內容包括：設備正確操作使用知識；識別初級故障及必要的恢復方法；常見故障排除方法。
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