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三軸精密運(yùn)動(dòng)臺(tái)定制系統(tǒng)

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更新時(shí)間:2023-11-24 11:18:54瀏覽次數(shù):540

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

三軸精密運(yùn)動(dòng)臺(tái)定制系統(tǒng),XYZ軸行程300mm*300mm*150mm,XY軸直驅(qū)結(jié)構(gòu),采用大理石作為機(jī)體,高精度指標(biāo)用于激光加工或3D打印等領(lǐng)域。

詳細(xì)介紹


王欣悅 依巴依-似伍陸陸-捌柒零貳

三軸精密運(yùn)動(dòng)臺(tái)定制系統(tǒng)

產(chǎn)品型號(hào):定制系統(tǒng)

產(chǎn)品應(yīng)用:三軸精密運(yùn)動(dòng)臺(tái)定制應(yīng)用于激光加工、3D打印等領(lǐng)域

  • 非接觸式直驅(qū)結(jié)構(gòu)驅(qū)動(dòng)

  • 滑塊滾柱導(dǎo)軌導(dǎo)向

  • 定位精度優(yōu)于1μm

  • 線纜管理

  • 結(jié)構(gòu)可接受定制

產(chǎn)品圖片

637990104660911979494.jpg

產(chǎn)品用材設(shè)計(jì)

三軸精密運(yùn)動(dòng)臺(tái)定制系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)精密定位,XY軸采用直線電機(jī)驅(qū)動(dòng),精密滑塊滾柱導(dǎo)軌導(dǎo)向及光柵尺閉環(huán)反饋,大理石基座三片式十字疊層結(jié)構(gòu),有效降低XY軸上工作點(diǎn)的高度,降低阿貝誤差對(duì)系統(tǒng)精度的影響,Z軸伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)帶斷電抱閘功能,應(yīng)用于精密3D打印、激光加工等領(lǐng)域。

精密控制

配合業(yè)界上主導(dǎo)的控制器和驅(qū)動(dòng)器相結(jié)合,可提供優(yōu)異的伺服性能、控制算法,從而提高動(dòng)態(tài)性能。控制器有誤差補(bǔ)償功能。

定制化設(shè)計(jì)

可定制用于真空環(huán)境下的版本。根據(jù)應(yīng)用可配置大理石基座、隔振臺(tái)、光學(xué)平臺(tái)等整套系統(tǒng)方案。

規(guī)格參數(shù)

軸系

測(cè)試項(xiàng)目

指標(biāo)要求

實(shí)測(cè)指標(biāo)

X軸

行程

300mm

300mm

定位精度

±1μm

±0.15μm

雙向重復(fù)定位精度

±0.5μm

±0.05μm

直線度

±3μm

±0.65μm

定位抖動(dòng)

300nm

31nm

工作速度

300mm/s

300mm/s

Y軸

行程

300mm

300mm

定位精度

±1μm

±0.15μm

雙向重復(fù)定位精度

±0.5μm

±0.1μm

直線度

±3μm

±0.45μm

定位抖動(dòng)

300nm

35nm

工作速度

300mm/s

300mm/s

Z軸

行程

150mm

150mm

雙向重復(fù)定位精度

±5μm

±1μm

速度

50mm/s

50mm/s

負(fù)載

XY軸

20Kg

20Kg

Z軸

15Kg

15Kg




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